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制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备(关于制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备介绍)

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1、 《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》是2019年1月1日实施的一项中国国家标准。

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