薄膜干涉检测平整度的解释 薄膜干涉检查平面原理

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1、两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干涉条纹。如果被检查平面是光滑的，得到的干涉图样必是等间距的。如果某处凹下去，则对应亮纹(或暗纹)提前出现；如果某处凸起来，则对应条纹延后出现。(注：“提前”与“延后”不是指在时间上，而是指由左向右的位置顺序上)

2、旋转法是一种方便快捷地判定被检查平面上是凸起还是凹陷的经验性方法，而不是能从定理或定律推导得出的理论结果。具体方法是将干涉图样及装置一起在纸面内旋转。旋转方向是使装置的劈形空气膜劈尖向下，即装置成“V”字形。

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